德国sonosys发电机-产品介绍

德国sonosys发电机—赫尔纳贸易

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sonosys发电机介绍：

SONOSYS Ultraschallsysteme GmbH于1995年在德国诺伊恩比尔格成立，是一家专注于高频超声波和兆声波清洗技术研发与制造的厂家。公司长期聚焦于400kHz至9MHz频率范围的清洗系统，主要服务于对微粒去除精度有较高要求的工业领域。

SONOSYS强调与客户及研究机构的协作式开发模式，其产品开发过程注重实际应用需求的转化。公司与弗劳恩霍夫研究所、马格德堡大学等科研机构保持技术交流，在此基础上不断优化清洗方案。其产品系列涵盖兆声波发生器、换能器、喷嘴系统及浸入式清洗系统等，至今已向市场交付超过4500套设备。

公司的运营理念体现于其座右铭“共同掌握纳米清洁”，即在理解客户具体工艺条件的前提下，提供有针对性的清洗技术方案。

sonosys发电机主要产品

SONOSYS的产品体系围绕兆声波清洗技术展开，主要包括以下几类产品：

MLM系列兆声波发生器（低功率模块）

MHM系列兆声波发生器（高功率模块）

Premium Digital系列数字式兆声波发生器

sonosys兆声波单喷嘴/双喷嘴/三喷嘴系统

sonosys兆声波花洒式喷嘴（Shower Nozzle）

FTF面对面换能器（Face-to-Face Transducer）

sonosys兆声波浸入式换能器

sonosys兆声波雾化器

sonosys发电机主要型号

根据频率、功率和应用场景的不同，SONOSYS提供以下代表性型号：

MLM系列（600kHz / 1MHz / 2MHz / 3MHz / 4MHz / 5MHz）

MHM系列（400kHz / 600kHz / 1MHz / 2MHz）

Premium Digital系列数字发生器

单喷嘴系统（600kHz至9MHz八种频率可选）

双喷嘴系统（可组合频率，如1MHz+3MHz、2MHz+4MHz）

三喷嘴系统（可组合频率，如1MHz+3MHz+5MHz）

花洒式喷嘴（1MHz，多种长度规格：44/118/405/670mm）

FTF 1MHz换能器系统（含MGH 150W发生器）

sonosys发电机产品介绍

1. MLM系列低功率兆声波发生器

该系列支持600kHz至5MHz的频率范围，采用模块化19英寸机架设计。每个机箱最多可安装6个MLM模块，单个模块输出功率为60W。发生器具备自动调谐功能，可根据换能器状态优化匹配，反射功率较低，有助于提升能量利用效率。

2. MHM系列高功率兆声波发生器

该系列提供400kHz、600kHz、1MHz和2MHz四种频率选项。在400kHz至1MHz条件下，单机箱总输出可达2000W；2MHz条件下为1200W。输出功率可在10%至100%范围内调节，且输出阻抗为50Ω，可适配不同厂商的换能器产品。

3. Premium Digital系列数字式发生器

该系列采用数字控制技术替代传统模拟发生器。可通过Modbus协议经服务器进行远程功率控制，并实时监测温度、实际输出功率、故障状态等运行数据。设备配备LCD面板，可直接读取各模块的运行参数，另提供配套应用软件用于参数设置与监控。

4. 兆声波喷嘴系统

喷嘴通过流动介质（如去离子水）将兆声波能量传导至基板表面，能量聚焦于2mm或4mm宽度的区域。单喷嘴适用于局部定点清洗；双喷嘴和三喷嘴可同时输出两种或三种频率，扩大可去除的颗粒尺寸范围。材料方面，壳体可选PTFE、PCTFE或不锈钢，喷嘴可选石英玻璃或不锈钢，以适应不同化学环境。

5. FTF面对面换能器系统

该系统的换能器安装距离基板约1.5mm，可将兆声波能量较为均匀地传递至晶圆表面。配套的MGH发生器输出功率150W（调节范围约20%-100%），采用19英寸机箱设计，重约4.5kg。换能器壳体材质为PFA，转换区尺寸约150×25mm。

sonosys发电机优势特点

1. 较宽的频率覆盖范围

SONOSYS可提供从400kHz到9MHz的兆声波发生器和换能器，在同一技术平台下覆盖了粗洗到精密清洗的不同需求。较高频率（如5MHz以上）对亚微米级颗粒的去除能力较强，同时对待清洗表面的作用较温和。

2. 模块化设计与较小的空间占用

MLM、MHM及Digital系列均采用19英寸模块化机架结构，多模块可集成在同一机箱内。这种设计使设备在控制系统中的安装空间需求较小，同时便于维护和扩展。

3. 自动调谐与低反射功率

发生器具备自动调谐功能，能够根据换能器的实时状态进行匹配调整，减少反射功率。这有助于保证清洗过程的重复性，同时提高电能向声能的转换效率。

4. 数字控制与远程管理能力

Premium Digital系列支持Modbus远程控制协议，可实现功率调节、开关控制及运行数据的实时回传。这对于需要集中监控的半导体生产线而言，有助于提升自动化水平。

5. 灵活的配置选项

喷嘴系统提供单/双/三喷嘴结构，用户可根据基板尺寸和污染物类型选择不同的频率组合。发生器除适配SONOSYS自有换能器外，也可通过50Ω输出端口匹配第三方产品。

sonosys发电机应用领域

1. 半导体制造（晶圆清洗）

兆声波清洗用于去除晶圆表面的颗粒污染物，尤其是先进制程中对纳米级微粒的控制要求较高时。FTF换能器和喷嘴系统可集成于单片清洗设备中。

2. 微机电系统（MEMS）制造

MEMS器件具有精密的微结构，传统超声波清洗可能导致结构损伤。兆声波清洗采用较高频率、较低能量密度的方式，可在有效去除微粒的同时降低损伤风险。

3. 光学元件与光掩模清洗

光学元件和光掩模对表面洁净度要求较高，且对划伤敏感。兆声波花洒式喷嘴可实现非接触式清洗，适用于平板显示基板、掩模版等产品的颗粒去除。

4. 连接技术与精密机械

在微系统技术、LIGA技术和精密机械领域，兆声波清洗可用于去除微型零件表面的加工残留物，保证后续装配或镀膜工艺的质量。

5. 太阳能光伏（PV）

太阳能电池片制造过程中，兆声波清洗用于去除硅片表面的切割损伤层污染物，有助于提升后续工艺的稳定性和电池转换效率。

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