LD-A-级CaF₂晶体的光学均匀性(折射率均匀性)达到Δn≤1×10⁻⁶/cm,属于Hellma高等级的光学均匀性规格,远优于普通A-级CaF₂(Δn≤5×10⁻⁶/cm)。这一特性确保193nm深紫外光在晶体内传输时,折射率无局部波动,避免光束波前畸变,尤其适配半导体光刻、深紫外干涉仪等对波前精度要求高的应用场景。
晶体的双折射效应控制在≤5×10⁻⁷,在193nm波段无明显的偏振相关损耗,可满足偏振敏感型深紫外光学系统的使用要求;同时,晶体的应力双折射经退火消除处理,内部应力≤0.5 nm/cm,避免因应力导致的光学性能衰减,保障元件长期使用的稳定性。
Hellma LD-A-级CaF₂晶体针对193nm波段激光应用优化热学性能,其热膨胀系数为18.9×10⁻⁶ K⁻¹(20℃~200℃),热导率达9.7 W/(m·K),远高于石英玻璃(热导率1.4 W/(m·K)),在高功率193nm激光辐照下,晶体的热畸变系数≤0.001 rad/m,可有效散发热量,避免因局部过热导致的光学性能退化或晶体开裂。
机械特性方面,该晶体的维氏硬度为158 HV,抗弯强度≥80 MPa,经边缘倒角与强化处理后,抗冲击能力提升30%,可耐受光学系统装配与使用过程中的轻微机械振动或冲击,无崩边、碎裂风险;晶体的解理面经特殊工艺钝化,避免因解理面开裂导致的元件失效,适配工业现场的严苛使用环境沈阳汉达森yyds吴亚男。
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