KOSAKA台阶仪介绍

KOSAKA台阶仪是日本株式会社小坂研究所（简称KOSAKA）一款测量台阶/膜厚的产品，主要特点如下：

• 高精度测量：采用金刚石探针接触测量方式，配合直动式传感器等设计，可实现高精度表面形貌分析， Z方向最小分辨率达0.1nm。

• 多功能分析：能测量表面台阶形貌、粗糙度、波纹度、磨损度、薄膜应力等多种参数，还可进行二维/三维表面粗度解析。

• 多种型号探针：配备各种型号探针，通过控制接触力和垂直范围，适应不同测量需求。

• 便捷观察定位：彩色CCD原位采集设计，可直接观察探针工作状态，方便准确定位测试区域。

• 根据不同应用场景，可搭配全自动机械手臂,实现在线全自动测量。

代表型号及参数：

• KOSAKA ET200A：样品台尺寸φ160mm，可测工件尺寸φ200mm、厚度52mm、重量2kg。Z方向测定范围600µm，测定力10uN-500uN，触针半径2µm。X轴移动量（测长）100mm，移动速度0.005-20mm/s。

• KOSAKA ET4000：可实现二维/三维表面粗度解析及台阶测定，具有高精度、高辨识能力及安全性，具备载物台旋转功能，便于定位下针位置，适用于平板显示器、硅片、硬盘等的微细形状台阶/粗度测定。

应用领域：

• 半导体领域：用于半导体硅片的表面形貌测量、台阶高度测量、薄膜厚度测量等，为半导体制造工艺提供关键数据支持。

• 光电子领域：可对光电子器件的表面进行检测，确保器件的性能和质量。

• 生物医学领域：能对生物医学器件的表面进行分析，如人工关节、牙科材料等的表面粗糙度、磨损度测量。

• 铜箔/薄膜行业：各类镀膜材料的膜厚测量。

日本进口KOSAKA 台阶仪，有ET200A，ET4000系列和ET10000，可测量各类薄膜厚度，最小测量单位可达0.1nm，配置直动式传感器，拥有较高的测量精度及重复性。

关键词：台阶仪 | 膜厚仪 | 薄膜测厚仪 | 段差分析仪