inficon高温压力计CDG160D功能简介

德国inficon高温压力计CDG160D

inficon高温压力计CDG160D功能简介：

INFICOSKY CDG160D 高温压力计是实现精确总压测量与控制的理想之选。CDG160D 真空计温度控制在 160 °C，具有性能，适用于苛刻的半导体和等离子过程。在 1 Torr 至 1000 Torr 满刻度范围内均可使用，带有所有常用类型的法兰和现场总线接口，能够提供 0 至 10 V、不受气体类型限制的对数压力信号。INFICO电容式压力计采用超纯氧化铝陶瓷隔膜，具有防腐蚀性。陶瓷传感器具有信号稳定性更佳、从大气恢复的速度更快、预热时间短和使用寿命长等诸多优势。INFICOCDG 压力传感器品质，成本效益，适用于苛刻的半导体、等离子和真空应用。

inficon高温压力计CDG160D优点

² 拥有成本更低，预热速度快 50%，节能，低功耗

² 易于集成，各种满刻度、法兰和接口，标配两个设定点

² 轻松一键归零或远程信号归零指令，可调零点偏移

² 诊断端口便于快速服务与维护

² 两年保修服务、加热概念和真空计保护延长了使用寿命

² 信号稳定性和可重复性，即使是最严苛的等离子应用，都无需长期执行重新校准

² 合规和标准：CE、EN、UL、SEMI、RoHS

inficon高温压力计CDG160D典型应用

ü ECT、CTD、PVD和其他半导体生产工艺

ü 化学和腐蚀性高温过程

ü 一般薄膜和真空工艺,需要仪表保护

inficon高温压力计CDG160D规格

Ø 准确性阅读%:0.4

Ø 精度%：0.003

Ø 输出信号(模拟)V (dc)：0.. +10

Ø 响应时间：30ms

Ø 暴露于真空的材料:Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), stainless steel (AISI 316L )