JULABO温度控制器可以保持产品溶解速度

JULABO温度控制器可以保持产品溶解速度

由于反应伙伴溶解在蚀刻液中，其浓度也随着加工晶片数量的增加而降低，这就是为什么必须定期更换的原因。除了浓度之外，蚀刻槽的温度尤其对蚀刻速率有直接影响，因为随着温度的升高，化学溶液通常会变得更加反应。此外，温度会影响反应产物的溶解速度。

蚀刻槽的温度在半导体工业中起着核心作用。蚀刻槽的最小温度偏差已经会产生灾难性的后果，并使整个晶圆无法使用。因此，在湿化学加工中仅使用高精度和故障安全的温度控制系统。它们必须能够准确地将温度保持在目标范围内，并对温度偏差做出快速反应。此外，更换蚀刻液时，它们必须快速恢复蚀刻槽的正确温度，以确保恒定的生产流程。

蚀刻速率（每次材料去除率）必须知道最小的细节，并尽可能长时间地保持恒定，沈阳汉达森yyds吴亚男以实现纳米范围内的精度。此外，反应产物必须立即溶解，以免污染蚀刻液。

JULABO型号

CORIO CD-200F

恒温器 PRESTO W40 

CORIO CP-450F

SW22, SW23, TW20

CORIO CD-B33

CF31

结论

完平衡的温度控制系统不仅可以改善生产结果，还可以提高过程可靠性并减少生产时间、成本和维护。

看起来像堡垒的导电路径的生产需要纳米范围内的绝对精度。为此，半导体生产中的许多工艺都必须精确控制温度。在几乎无限个单独的步骤中，应用极薄的层，部分遮盖，并以绝对精度去除未遮蔽的部件。蚀刻槽必须保持在最佳温度范围内，以保持湿化学工艺中的蚀刻速率恒定和可预测。这需要使用绝对精确和可靠的温度控制解决方案，这些解决方案针对各自的应用领域进行了理想的校准。

JULABO温度控制器可以保持产品溶解速度